电容器由两个绝缘的同轴圆柱极板内电极和外电极组成
根据被测参数的变化分:
(1)变极距型电容传感器(d)
(2)变面积型电容传感器(A)
(3)变介质型电容传感器(ε)
电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。
可分为单探头电容传感器和多探头电容传感器:ZNXsensor,高精度
可以的。
电容传感器分为单极性和双极性的。单极性例如zcs1100,需要有一个平整的背板,将薄膜放在传感器探头与背板之间来测薄膜厚度。
双极性例如znxsensor,有正负两个电容极片,将薄膜放在两个极片之间来测厚度。
但是具体的测量方式还需要非常多的详细步骤。