激光干涉仪的工作原理是什么？用来测量机床精度与校正机床有哪些优势与劣势？

激光干涉仪，对于机床的精准测量与校正提供了有效的解决方案。

能同时进行三维数据测量，其距离方向（Z轴）的测量值为纳米精度。此方案适用于质量监控，特别是在机床的校准方面。

优点：测量精确度高，友好的用户界面和完整的数据记录以及存档。产品的性价比高。

缺点：设置干涉仪时需格外小心。激光光束在测量期间不允许被中断。

激光发射器，激光接收器（PSD）和均衡器都集成在µLine F1中。

StatusPro的干涉仪是双频激光干涉仪，其频率差为7M。

可以通过手动，半自动或全自动的方式进行测量点的数据采集。友好的用户界面，各个组件之间全部为无线蓝牙连接。优秀的软件能自动生成G代码与均衡表，无需复杂的转换。除了普遍生成的格式，还为客户提供特定的控制变量进行使用，例如：Siemens，Fanuc和Haidenhain。

软件生成的测量报告和图表完全符合ISO/DIS 230和PN-93 M55580的标准。统计结果是按照ISO230-2（欧洲），VDI/DGQ 3441（德国），NMTBA（美国），BSIBS 4656条款16（英国），PN-93 M5580（波兰）的标准进行制订和存储的。

原理简介

其基本原理是依据光波的叠加。从激光发射器射出的激光被分光器分为两束激光。一束激光经过固定反射器被偏转从而反射回激光接收器，成为参考激光（如图：红色的激光）。另一束激光通过分光器（如图：还是红色的激光）和移动反射器（如图：绿色的激光）成为测量激光。参考激光和测量激光通过分光器后汇合（光波叠加）并彼此干涉的被激光接收器所接收。以此称为干涉仪。

参考激光是固定不动的，而测量激光会随着移动反射器的移动而变化。

相长干涉：如果两束激光相位相同，测量光波会叠加增强，表现为亮的干涉条纹。

相消干涉：如果两束激光相位相反，测量光波会叠加抵消，表现为暗的干涉条纹。