msdn上有一个类似的问题http://social.msdn.microsoft.com/Forums/eu/vssetup/thread/b9ea4aab-f9a2-447a-9339-60a2505f6c02 ，估计你的原因是类似的——安装包有损坏，你可以试试重新下载一个，再安装试试。
参考资料：http://social.msdn.microsoft.com/Forums/eu/vssetup/thread/b9ea4aab-f9a2-447a-9339-60a2505f6c02
把杀软关了或用管理员身份运行试试
我碰到了一样的问题，后来终于解决了
是硬盘有错误！（比如坏道，文件系统错误……）
我把iso拷贝到一个没有错误的硬盘上就安装成功了！
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