三次元主要用于工件的三维检测和曲面检测及较复杂的3D数模及形位公差检测等。它是一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器。几何元素的测量，包括点、线、面、圆、球、圆柱、圆锥等等；曲线、曲面扫描，支持点位扫描功能，IGES文件的数据输出，CAD 名义数据定义、ASCII 文本数据输入、名义曲线扫描、符合公差定义的轮廓分析。形位公差的计算，包括直线度、平面度、圆度、圆柱度、垂直度、倾斜度、平行度、位置度、对称度、同心度等等
几何元素的测量：点、线、圆、面、球、弧、椭圆、圆柱、圆 锥、键 槽、曲线、曲面
几何元素的构造：投影、中分、相交、相切、镜像、拟合、平移、垂直、平行、组合、旋转、偏置线、偏置
形位公差软件： 直线度、平面度、圆度、圆柱度、 圆锥度、球度、距离、夹角、垂直度、平行度、倾斜度、位置度（2D及3D）、对称度、同轴度、 同心度、跳动等
三次基本可以满足大部份几何元素的测量，但有一些元素是无法测量的，比如有肓孔深度，一些探针无法触碰到的元素。
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