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氧化铝厚度测量方法
氧化铝厚度测量方法
在硅片上镀了一层几百纳米的氧化铝薄膜，如何测量其准确厚度
2024-12-19 06:01:04
推荐回答（1个）
回答1：
1.纳米划痕仪可以测；
2.做截面，磨平，在扫描电镜下看。
3.原子力显微镜也可以做，但是好像挺麻烦。
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