采用改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法生产多晶硅中最危险的工种是哪个环节?谢谢!

2025-04-13 01:56:21
推荐回答(4个)
回答1:

闭环式生产包括4部分:1-三氯氢硅的合成;2-精馏三氯氢硅,得到纯度达到99.9%甚至更高;3-还原工序,三氯氢硅与氢气反应制得硅棒;4-尾气回收工序,回收HCl和H2,实现循环利用。还要包括最后的淋洗。
整个工序中合成跟淋洗的环境最差。合成工序中有硅粉,粉尘对呼吸道有影响。有HCl,有一定的泄露危险。淋洗是尾气处理的地方,很多时候是超负荷处理,淋洗设备还经常堵,需要相关人员处理。但是琳洗由哪个工序负责,每个公司不一样。
精馏工序时最安全的,也是污染最小的,因为都是精馏塔,密闭性很好,很多都是主控人员远程操作,相对安全。
还原工序易爆炸,高压高温操作,还有高温的锅筒水,反应气体氢气是易爆气体。
尾气回收工序听起来好像是很危险,挺危险。实际上尾气回收是最轻松的一个工序,现在工厂都是自动化,回收是全密闭的。
多晶硅厂在化工厂中还是相对比较安全卫生的,只是现在行情不好,不建议进去。

回答2:

合成最危险,某单位合成管道硅烷结晶堵塞4名工人用水冲洗管道发生爆炸两人重伤两人轻伤。尾气爆炸一人轻伤。还原炉视镜破裂爆炸无人员伤亡,飞出的视镜碎块打破一堵墙。硅块清洗氢氟酸腐蚀。

回答3:

改良西门子主要有三氯氢硅合成—精馏—还原—尾气回收工序。相对来说,合成与尾气回收工序危险一些,主要问题是有气体外泄燃烧爆炸的问题。

回答4:

改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
那么第一步是至关重要的,不能掺杂进氧等气体。