用金相显微镜，上海测维光电技术有限公司有一款专门用来测清洁度的仪器，你可以看一下，50 mm的膜，大概30秒就可以出结果，缺点就是只能测5微米以上的。
金相显微镜看油脂我用过，效果一般。生物显微镜没用过，不知道效果如何。
专用电子显微镜
这最好用相差显微镜，各偏光显微镜
