SORRY，刚看到。如果要测面轮廓度非要用到电镜扫描不可，那是非常麻烦的。如果你需要检测的是产品件而且不是很精密，最好就按产品形状做一个检测模具就行了。或者用染色法，这方法你问问50岁左右的老钳工师傅，他会详细告诉你。但是也要用到检测模。
如果你针对的是点的话，你把它放在三坐标上就可以了。检出的数值是很精准的。如果针对的是面，就只有一条线一条线的来检了，不知道是不是有这样的检测装置，估计高级的会有的，比如用激光来扫的。一般的是利用导轨来实现就可以了，导轨的精度在实测的数据中把它刨除就行了。
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