dij 为压电常数,它有两个下脚标,第 1 个下脚标 i 表示晶体的极化方向,当产生电荷的表面垂直于 x 轴(y 轴或 z 轴)时,分别记作 i=1(2 或 3);第 2 个下脚标 j=1或 2、3、4、5、6,分别表示沿 x 轴、y 轴、z 轴方向作用的正应力和垂直于 x 轴、y 轴、z 轴平面内作用的剪切力,
d31 模式和 d33 模式是 MEMS 压电振动能量收集器常见的两种工作振模式,图给出了这两种工作模式示意图。当 MEMS 压电振动能量收集器采用 d31 工作模式时,应力为 1 方向,压电材料受到外界施加在 1 方向上的拉应力或压应力,其产生的机械形变也是沿着 1 方向,但压电材料极化和产生的电场均为 3 方向,即电压为 3 方向,应力为 1 方向;当 MEMS 压电振动能量收集器采用 d33 工作模式时,应力为 3 方向,压电材料受到外界施加在 3 方向上的拉应力或压应力,其所产生的机械形变和电场方向均为 3 方向,即电压和应力都在3 方向。
——李森. 基于 MEMS 技术 ZnO 压电薄膜能量收集器研究[D]. 黑龙江大学, 2019.
压电陶瓷 dij 指压电陶瓷的压电转换能力,第一个下标 i 代表电学方向,第二个下标 j 代表力学方向,一般来说“3”是压电陶瓷的极化方向。
压电应变常数 d33和d31对应测试的方向数值会不一样