半导体硅片匀胶的作用是什么

2025-02-24 05:16:01

推荐回答（3个）

回答1：

匀胶的作用主要是讲光刻胶涂平，利用高速旋转的离心力。
匀胶的时候你可以看到滴到Wafer上的一滴液体（匀胶后会高温处理，蒸发掉其中水分，定型，说是固体，其实还是比较软的，后面plasma ETCH之前一般会有一步UVbake，进行加固）由中心向外侧扩散，一圈一圈的，直至完全变平。

回答2：

保证硅片表面光刻胶的平整度，以免影响到光刻的精度和质量。

回答3：

在硅片表面均匀的涂上一层光刻胶，再进行曝光、显影，将光罩上的图形转移的光刻胶上，为后续的刻蚀、注入工艺服务。