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光刻胶在硅片上匀胶时出现放射状条纹，请问是什么原因？胶已经用0.22μm的过滤器过滤，基本可排除颗粒影响
光刻胶在硅片上匀胶时出现放射状条纹，请问是什么原因？胶已经用0.22μm的过滤器过滤，基本可排除颗粒影响
2025-02-28 03:42:45
推荐回答（4个）
回答1：
只能是颗粒影响吧！这种现象我还真不知道还有什么事情能引起。
你之前一直用过来，工艺是成熟的 没有设备参加整个活动。
回答2：
1.胶量不足
2.wafer 台阶较大
回答3：
浓度多大的，涂的膜厚多大？
回答4：
粘度大，流平性不好。
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