像电池片上有白点了,漏电大了,转换率不高,片子色差严重了等等
扩散后出现:蓝点 黑点 脏片 麻点去PSG;过刻 黑边 脏片PECVD:色差 白点 脏片Print:缺失 断线 加粗 脱落 翘曲 铝刺 脏片
碎片,裂痕等等