二氧化硅在集成电路制作过程中,可以阻止杂质扩散,这就提供了选择扩散的可能,例如在硅片上生成一层完整的二氧化硅后,再利用光刻的办法,有选择地刻蚀掉某些部分的二氧化硅,然后的高温下掺杂(例如掺硼)就使这没有二氧化硅保护的区域有硼扩散进去了,这里因此变成了P型区(通常是基区)。另外二氧化硅是良好的绝缘体,在集成电路制作过程最后要将分散的二极管,三极管,电阻等元件用铝条连接起来,有些地方需要连,也有些地方不要连,不要连的地方,用二氧化硅盖起来就行了,而需要连的地方,也用光刻的办法,有选择地刻蚀掉,就可以由经过的铝条,连起来了。
二氧化硅属于光纤的主要制作材料,属于光波导,不属于半导体也不属于导体(通常所说的电导体)。在晶体管和集成电路中作杂质扩散的掩蔽膜和保护层,制成二氧化硅膜作集成电路器件。
主要是隔离( isolation),例如mos和mos间,metal和metal间的隔离;
另外就是IC生产过程中的imp blocking.