NH4F水解会产生NH3H20和HF,这个反应在水溶液中是一个可逆平衡反应,HF消耗掉,就会促使反应朝水解方向进行,水解出HF补充体系HF的损失。ITO蚀刻液成分我不清楚,但是FeCl3缓冲原理也是类似的。FeCl3水解产生Fe(OH)3和HCL可逆平衡,PH升高,导致水解反应朝正方向进行。
BOE中没有三氯化铁吧 ITO蚀刻要么使用三氯化铁+盐酸或者三氯化铁+硝酸或者草酸或者盐酸+硝酸。
ITO蚀刻液和BOE蚀刻液中,Fecl3和NH4F的缓冲机好
很复杂很专业的问题哟,三言二语说不完