请问薄膜太阳能电池用的镀膜（PECVD）设备是什么？

2024-12-15 18:33:31

推荐回答（3个）

回答1：

很多。。。目前国内用的基本上都是管式PE设备。。但也有很多进口的平板的。。而管式PE的有45也有青岛赛瑞达等很多要不我给你个网站注册进去那里面全关于太能能方面的专业知识。。
请自带高分！》。。。。。

回答2：

PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
等离子体辅助化学气相沉积

我们公司就是做这个的.

回答3：

一般有管式和板式，我们公司这两种都有，不过管式用得比较多。深圳捷佳伟创电子设备有限公司有生产管式设备，国外的也有很多。