Ar气是惰性气体，像离子清洗，烧靶用。N2气一般是镀化合物膜层加入的气体，像TiN，CrN，ZrN膜层需要加入的气体，同时也要加入Ar气提高等离子体密度。有黄色，白色，玫瑰色，咖啡色等各种颜色C2H2在真空镀膜中一般是镀黑色、紫色等用的，镀类金刚石膜层也可以看工艺使用。还有加O2是镀蓝色膜层的。
