利用光的干涉来检测物体表面的平整度的方案??

2024-12-21 18:11:14
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回答1:

利用光的干涉来检测物体表面的平整度可以用一个标准平板在上方,待测平板在下方,组成空气劈尖。如果待测平板表面不平整,产生的等厚干涉条纹就会发生弯曲。


根据薄膜干涉的道理,可以测定平面的平直度.测定的精度很高,甚至几分之一波长那么小的隆起或下陷都可以从条纹的弯曲上检测出来.若使两个很平的玻璃板间有一个很小的角度,就构成一个楔形空气薄膜,用已知波长的单色光入射产生的干涉条纹,可用来测很小的长度.

回答2:

检测平整度用的是空气劈尖干涉原理,当光垂直入射时,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,当光波的光程差为波长的整数倍时,形成明条纹,为半波长的奇数倍时,形成暗条纹。而光程差取决于空气层的厚度,空气层厚度相同的位置明暗纹情况相同,若工件不平整,则条纹会凸起。向左向右
都是可能的,关键是看不平整的是凸起还是凹陷~
手压玻璃板时,空气层厚度改变,故条纹移动~

左凸的原因是工件表面有凹陷(凸起),凹陷(凸起)处空气层厚度和其左边工件平面上的空气厚度相同,故条纹向左凸

回答3:

现在有激光检测呀,很方便的