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PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
2024-11-29 08:49:55
推荐回答（2个）
回答1：
一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍，一共洗两遍，然后再用氢气洗，之后就是成膜工艺气体配比充。
回答2：
1.0*10-3Pa
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