非平衡等离子体：低气压下或常压下，电子温度远远大于气体温度的等离子体。如低气压下DC辉光放电和高频感应辉光放电，大气压下DBD介质阻挡放电等产生的冷等离子体。
非平衡等离子体按产生的方式、压强范围、电极形状可分为五类：1、辉光放电等离子体；2、电晕放电等离子体；3、介质阻挡放电等离子体；4、射频放电等离子体；5、微波放电等离子体。
更为严密地讲，应该为非热平衡，该条件下等离子体中的各种粒子没有充分碰撞，各种粒子温度不相等，没有达到热平衡。
1.热平衡等离子体：Te≈Ti≈Tg， 此处e、i、g分别代表electron、ion、gas
2.非热平衡热等离子体：通常Ti≈Tg<
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