生产太阳能电池片的刻蚀 去PSG工序有什么危害

刻蚀若采用的干法等离子刻蚀，容易刻的过宽，破外表层周边的P-N结，降低最终效率，同时等离子刻蚀会造成周边的崩边点，造成碎片率高；用激光去边的话因为在背面操作，不会造成什么危害；去PSG用只用传统的HF方式时，浸泡时间太长容易方阻略偏大，以及周边发黑，短时间内不会有问题；用HF/HNO3腐蚀会因为有HF或HNO3的蒸汽会对表层腐蚀，形成表层方阻变大。

刻蚀分为干法和湿法刻蚀，干法一般用等离子刻蚀，有辐射，湿法刻蚀一般有强酸，那就不用说了。
去PSG用HF（氢氟酸），HF的危害去自己查吧。

1、125单晶碱制绒电池片用的是干法刻蚀，就是有两个小工序---先是用等离子刻蚀机进行刻蚀然后再放到去PSG槽体里用药液浸泡，这里等离子刻蚀机稍微有点辐射，但对人体危害不大，估计要在里面干个三五年可能会有一点点影响，去PSG机器里面用的是酸性药液，换药时一定要穿戴好防化服装，避免接触到身体。
2、125单晶、156多晶酸制绒电池片用的是湿法刻蚀（设备是德国进口的RENA设备），这个就一台机器直接完成上述的两步动作，这机器用的也是酸性药液，同样要注意化学品的防护工作，正常情况下对人体没有危害，放心好了。

没有多大危害，有点辐射。