类似于气垫船/液压千斤顶的原理，压缩空气从气浮块中间的小孔吹出，在均压槽的辅助下（凹面气浮块也有可能没有均压槽）形成一个气垫层，压强不变而压力=压强*气垫面积，作用力=反作用力，于是产生了一个托举力。由于气浮块与导轨表面不直接接触，所以设备的运行可以完全避免导轨表面微观凹凸产生的弹跳，所以大部分三坐标都采用了气浮支撑方式
