SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图，可以告诉你样品的形貌特这，尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的，给出的是立体图，对观察棒状，球状，等等材料材料有很好的视觉效果。EDS是分析成分的，一般是配套于TEM仪器上。它分析的是样品表面面某个小的部分的元素组成，不能代表样品整体组成。
一般TEM的加速电压会更高一些，不知道是不是这个对应EDS的效果会不会更好一些另外一般测TEM的样品都比较薄，所以用TEM测EDS的时候铜网的影响会比较大
SEM的EDS分析的面积大，TEM分析的面积小所以说还是SEM的可信度高
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