原理为臭氧对波长 λ=254nm紫外光具有最大吸收稀疏，在此波长下紫外光通过臭氧层会产生衰减，符合兰波特-比尔（Lambert--Beer）定律： I=Ioe-klc :Io-无臭氧存在时入射光强度；I-光束穿透臭氧后的光强度；L-臭氧样品池光程长度；C-臭氧浓度；K-臭氧对光波长吸收系数。
根据该公式，在K、L值已知条件下，通过检测I/Io值即可测出臭氧浓度C值来。
紫外吸收法已被美国等国家作为臭氧分析的标准方法。
按应用分为检测空气臭氧与检测水溶臭氧两种。均可连续在线检测，数字显示并可记录打印。优点为检测精度高，稳定性好，其它氧化剂干扰小。缺点为价格较高。
由于沿面放电型的充气管与陶瓷片臭氧发生装置产生氮氧化物含量较高，应采用紫外法检测其臭氧浓度。
臭氧紫外检测（分析）仪作为现代技术产品，具有完备的起提处理、光-电转换、数据计算、分析及记录功能。北京分析仪厂生产的8810型臭氧分析议，有0-10ppm、0-100pmm两种产品。美、日、德等国家都有多种规格紫外分析仪生产，检测量最高为20mg/L。
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