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抛光sio2用什么抛光液和抛光垫

2025-03-15 02:23:55

推荐回答（1个）

回答1：

给你推荐个经典配置，CABOT的抛光液，罗门哈斯的抛光垫。
是硅片抛光吗？目前用的最广的是二氧化硅胶体为磨料的碱性抛光液。磨料粒径50-100nm。
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HOFFMAN
公司的也还不错，国内的很少吧，基本上进口的好一些，不过要试用了才知道，设备不一样会有很大区别的
我以前使用氧化铈和粗孔抛光布，比较普遍。
你是要问厂商还是材料啊
一般用SIO2粒子研磨液，粒子SIZE(20nm-200nm),我们有韩国的牌子代替cabot在韩国，需要可以联系用金刚石抛光液3μm和无毛抛光布后再用氧化铝抛光液抛光和长毛抛光布

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