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真空镀膜pvd粗抽慢是什么原因？
真空镀膜pvd粗抽慢是什么原因？
2025-04-07 16:43:13
推荐回答（1个）
回答1：
扩散泵可能不太给力，解决办法：可以用电离规单接到扩散泵泵口，看扩散泵单抽能达到多少。
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