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用PVD方法制备薄膜过程中影响薄膜生长和性质的因素有哪些?
用PVD方法制备薄膜过程中影响薄膜生长和性质的因素有哪些?
2025-03-22 21:24:09
推荐回答（1个）
回答1：
真空镀膜的话,气压\功率\是最重要两个因素.靶材的质量也会有影响.
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