我跟你说下正常的操作程序的。
1。工件装夹，关真空室门·
2。抽低真空，同时开加热器，加热。
3。当真空度达到开高阀，一般在几帕左右。
4。当真空室内的温度达到你所需要的温度后，关闭加热器。
5。继续抽真空，直至达到你所需要的镀膜真空度，
现在的加热系统都是智能的温控表控制的，设定一个问题，就会自动加热，自动保温。
不可能是加热，然后才抽真空。都是边抽真空边加热，这样把工件的表面放气都抽走的。
我觉得你以前的操作是错误！
你说的是炉内加热温度吗？要先抽真空再来加热，如果先炉内加热时，产品会放气，不抽真空产品和靶材会氧化的。OK
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