1948年,拉塞尔瓦里安(Russell H. Varian)、西格德瓦里安(Sigurd F. Varian)兄弟及另两名与斯坦福大学存在密切联系的科学家(William Webster Hansen、Edward Ginzton)在加州圣卡洛斯创立瓦里安联合公司(Varian Associates)。拉塞尔瓦里安和西格德瓦里安兄弟是速调管的发明人,该项发明后来成为现代医用直线加速器主要部件。
1953年,瓦里安联合公司在加利福尼亚州帕洛阿尔托设立总部。
1959年,瓦里安联合公司在纽约交易所上市。
1994年,瓦里安联合公司进军近距离放射治疗市场,生产了一系列用于近距离放射治疗的产品。
1997年,瓦里安联合公司SmartBeam技术的推出标志着放疗调强时代的来临。
1999年,瓦里安联合公司在与其半导体制造设备业务和科学仪器业务分离后,将名称更改为瓦里安医疗系统(Varian Medical Systems)。