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MEMS(微机电系统）的分类
MEMS(微机电系统）的分类
2024-12-28 03:32:53
推荐回答（1个）
回答1：
大方向有三类：
RF MEMS;射频，比如relay，switch，可变电容，谐振器……
BIO-MEMS;生物，比如微全分析系统。
POWER MEMS.微能量采集，比如微马达。
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