使用In球在wafer表面制作出P-contact和N-contact,使之与金属探针良好接触后,通过光电点测系统软件,设置参数(电流,电压)后以电激发光,进而对wafer生长的LED结构进行电性方面的分析。主要量测参数: 1. Vf (正向偏压) 2. Iv (发光强度) 3. λd (可见光波长 )