1、抽气系统,由各类真空泵,真空管道,真空阀组成,真空泵有滑阀泵或旋片泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵、分子泵等等等等。2、真空箱体,根据生产需要设计。3、传动系统,有流水镀、卷绕镀、旋转镀,也得根据需要设计。4、镀膜系统,各单位自己组合。