磁控溅射?它的靶材不该是个厚片(5~6mm)吗? 圆柱形?如果就是一般用的磁控溅射靶材,应该是没有影响,只要保证在溅射过程中不露底就成。当然什么时候露底取决于你的溅射速率。不锈钢靶没用过。钛靶+(Ar+N2)--->TiN(金黄色),辉光颜色略微偏红
壁厚,磁场稍弱放电电压要高些,但是几个毫米的差别不大。氩气是工作气体不参与反应,镀出来是金属本色,就是银色。加氮气镀出来是仿金色。