磁控溅射圆柱靶材,靶材的壁厚对镀膜有影响吗?

不锈钢靶,钛靶,氩气,氮气分别能镀是什么颜色?多谢指教!
2024-12-21 08:23:34
推荐回答(2个)
回答1:

磁控溅射?它的靶材不该是个厚片(5~6mm)吗? 圆柱形?
如果就是一般用的磁控溅射靶材,应该是没有影响,只要保证在溅射过程中不露底就成。当然什么时候露底取决于你的溅射速率。

不锈钢靶没用过。
钛靶+(Ar+N2)--->TiN(金黄色),辉光颜色略微偏红

回答2:

壁厚,磁场稍弱放电电压要高些,但是几个毫米的差别不大。
氩气是工作气体不参与反应,镀出来是金属本色,就是银色。加氮气镀出来是仿金色。